近日，星空在线平台-星空在线官网所属北方华创集团自主研发的两款MOCVD（金属有机物化学气相沉积）外延设备（型号：Satur N800/Satur V700）顺利通过客户验收，并获得批量重复订单。

据介绍，MOCVD设备是一种利用金属有机化合物进行金属输送的气相外延生长设备，需要在原子尺度上实现复杂材料的纳米精度控制、量子级界面控制，并需具备高真空环境和高精度温控系统，以确保材料的纯度和生长的稳定性。凭借在硅外延设备领域的深厚积累，北方华创积极拓展化合物半导体外延设备研发，形成了GaN（氮化镓）、GaAs（砷化镓）、SiC（碳化硅）等化合物半导体材料外延设备的系列化产品。

其中，GaN MOCVD概念产品——Satur N800应具大表面积透亮环境温度场、大标准保持稳定可以调整环流场，甚至多片式（Batch）大生产能力和手动化硬件配置，是可以能够满足有机物半导体行业专业功率器件对概念层酚类化合物、板厚为和夹杂着透亮性的高规范要求；GaAs MOCVD概念机 ——Satur V700成功率强化了热空气场、环境温度场、副生成物掌控等的关键系统，提供高平均性、大产能、低的成本等优缺点；SiC概念机械——MARS iCE115/120S，艺调试程序容易，运营操作流程快速，美国上市后换取市面 大面积信赖。

近年来，经过持续的技术沉淀与创新突破，北方华创实现了硅薄膜外延设备领域4英寸到12英寸全覆盖，产品包括8英寸及以下的单片及多片大产能硅外延设备、12英寸硅外延设备，取得了多项技术创新和产业化成果，累计销售突破千腔，并先后荣获“北京市科学技术进步一等奖”等重量级荣誉。下一步，面向化合物半导体向高集成度、高效能和低能耗发展的趋势，北方华创将以前瞻技术与创新服务为核心，提供全面外延解决方案，助力用户实现技术突破与成本优化，携手产业链伙伴共创产业发展新未来